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產(chǎn)品型號(hào): VMS-6060H/6090H
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特點(diǎn):
1.行程大,測(cè)量范圍更廣
2.自主開發(fā)QMS3D軟件,可滿足客戶不同測(cè)量需求
3.具有快速自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)尋邊,強(qiáng)大的編程和自動(dòng)測(cè)量功能
4.采用亞像素細(xì)分技術(shù),提高邊界分辨能力
5.配置操縱手柄,亦可軟件程控
6.SPC數(shù)據(jù)處理分析,大批量治具測(cè)量
7.X、Y、Z三軸伺服控制,定位精度高速度快,運(yùn)行平穩(wěn)
8.采用自主開發(fā)的嵌入式模塊控制系統(tǒng),將復(fù)雜的控制系統(tǒng)集成于儀器內(nèi)部,穩(wěn)定性更高
9.程控恒流驅(qū)動(dòng)式八區(qū)表面冷光光源,可適應(yīng)復(fù)雜的工件測(cè)量
10.X、Y向?qū)к壊捎酶呔然◢徥哂懈叻€(wěn)定性及剛性,不易變形
11.X、Y向移動(dòng)的部份采用低摩擦,高速度,高精度的氣浮移動(dòng)導(dǎo)向系統(tǒng)
12.采用同布帶或絲桿傳動(dòng),精度高,穩(wěn)定性好
13.花崗石直線度和玻璃平面度好,花崗石導(dǎo)軌無(wú)摩擦、不磨損
14.可通過(guò)激光指示器尋找被測(cè)工件的具體位置,快速定位,方便快捷
技術(shù)規(guī)格參數(shù):
長(zhǎng)度單位:mm | |||
參數(shù)/機(jī)型 | VMS-6060H | VMS-6090H | |
工作臺(tái) | X,Y軸行程 | 600×600 | 600×900 |
Z軸行程 | 200調(diào)焦及輔助測(cè)量 | ||
玻璃臺(tái)尺寸 | 640×770 | 640×1070 | |
工作氣壓 | ≥0.5MPa | ||
數(shù)字測(cè)量系統(tǒng) | 光柵尺分辨力:X、Y、Z軸0.0005 | ||
0.7~4.5×變焦鏡頭,總視頻放大倍率為20~128× | |||
X,Y軸馬達(dá)運(yùn)動(dòng)速度 | <300mm/s | ||
Z軸馬達(dá)運(yùn)動(dòng)速度 | <50mm/s | ||
儀器外形尺寸(L×W×H) | 1500×1300×1510 | 1800×1300×1510 | |
儀器重量(Kg) | 1281 | 1500 |