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產品型號： MTM-6065H/MTM-6090H
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特點：
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業領域。
特點：
1. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm
2. X、Y軸采用空氣軸承、花崗石導向，保證了機械系統的精確穩定，提高了測量精度
3. X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高、速度快，運行平穩
4. 同軸光/底光測量
5. 內置偏光測量光學模塊
6. 自主開發QMS3D-M軟件，高清晰進口1/2"彩色攝像機
7. 可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，可適應復雜工件的測量
8. 可實現Z軸自動對焦
9. 具有偏光和DIC檢測功能
10. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
技術規格參數：
型號 | MTM-6065H | MTM-6090H | |
工作臺 | 玻璃臺尺寸(mm) | 1070 x 640 | 1070 x 640 |
X、Y軸運動行程(mm) | 600 x 650 | 600 x 900 | |
Z軸行程(mm) | 200 | ||
外形尺寸(mm) | 1800 x 1350 x 1450 | ||
儀器重量(kg) | 1300 | 1500 | |
X、Y軸光柵尺分辨力(μm) | 0.5 | ||
Z軸光柵尺分辨力(μm) | 0.1 | ||
示值誤差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/200) μm (L為測量長度，單位mm) | ||
物鏡放大倍數誤差 | 包括畸變在內的放大率誤差≦0.08% | ||
落射照明光源 | 可調高亮度鹵素燈 | ||
底光照明光源 | 可調高亮度LED燈源 | ||
目視系統 | 影像系統 | ||
物鏡放大倍數 | 5X、10X、20X、50X(可選配100X) | 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 | |
目鏡放大倍數 | 10X雙鏡筒 | 1/2”CCD攝像機 | |
視頻總倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900) | |
